ALP系列
分類： 旋轉平台 > 氣浮直驅旋轉平台
產品特點
‧ 優化設計，最大限度地減少軸向、徑向和傾斜誤差運動，
‧ 具有出色的定位性能、速度穩定性和高解析度回饋
‧ 非接觸式氣浮軸承，有助於超精確運動性能
‧ 低高度扁平化設計，可帶4路氣管旋轉單元
‧ 亞弧秒級別定位精度
‧ 小於100nm軸向跳動，小於150nm徑向跳動
ALP是高精度氣浮直驅轉台，採用旋轉線性馬達直接驅動，具備非常優秀的動態性能和定位精度。除了市場領先的軸向、徑向和傾斜誤差運動性能外，ALP轉台還提供卓越的旋轉絕對定位精度和、重複性，高轉速以及負載能力，很容易整合到多軸運動系統中。
ALP轉台採用傑出的工業化設計，轉動檯面尺寸150mm，中空30mm，95mm厚度輕薄的設計下仍能保證高性能，選用高精度圓光柵位置回饋，定位精度小於±2弧秒，軸向跳動小於100nm，徑向跳動小於150nm。ALP轉台採用地心科技自主研發的圓形直驅線性馬達，尺寸靈活設計可實現1200rpm高速度。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，ALP轉台的在位穩定性和最小步進量小於0.5弧秒。主要應用在尺寸測量檢測、半導體檢測、同步加速研究、精密製造、光學對準和系統校準等需要弧秒級定位精度的工業領域與科研項目。
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平台型號\Model |
ALP150 |
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載物台直徑\ Tabletop Diameter |
150 mm |
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高度\Stage Height |
95mm |
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中空尺寸\Aperture |
30mm |
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轉角精度\Accuracy |
±2 arc sec |
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重複性\ Repeatability |
±1 arc sec |
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軸跳\Axial Error Motion |
250 nm |
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徑跳\Radial Error Motion |
250 nm |
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最小步進量\Minimum Incremental step1 |
0.5 arcsecc |
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在位穩定性\In Position Stability 1 |
0.5 arcsec |
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持續扭矩\Maximum Torque |
3.7 N.m |
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峰值扭矩\Maximum Torque |
14.6 N.m |
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最大負載\Max Load |
軸向\Axial |
30 kg |
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徑向\Radial |
15 kg |
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最高轉速\ Maximum Speed2 |
1200rpm |
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轉台重量\ Stage Mass |
5.5 kg |
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供氣需求\ Aire Requirement45 |
80psi±5psi，加小於0.25μm空氣篩檢程式 |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 適配-AS回饋，配置線性放大器；
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 默認測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 氣缸供氣需配置氣動三點組，必須清潔、乾燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平台實際負載重量可調。
- 為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開關，信號輸入到運動控制器連接急停（E-STOP）埠。
ALP-150
備註：
- 單位：mm；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
檯面直徑 |
回饋 |
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ALP |
-150 |
-AS |
回饋選項
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL50 |
TTL 50倍細分 |
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