ART130LZ系列
分類： 線性位移平台 > 機械直驅線性位移平台
產品特點
‧ 帶氣缸配重，動態效能優越（截止頻率大於100HZ）
‧ 交叉滾柱導軌
‧ 靈活的配置選項（不同行程和回饋）
‧ 解析度1nm，重複定位精度±100nm，定位精度±200nm
‧ 定位穩定性3nm（配置線性驅動器，配備隔振實驗室環境）
ART130LZ系列是奈米級定位精度的垂直運動平台，直線線性馬達驅動，採用交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態效能和定位精度，空載截止頻率可達100Hz以上。是ART130系列水平運動平台的有效補充，可以與ART130或者ART130XY系列組成不同的多軸配置來滿足客戶應用。
ART130LZ系列平台雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力，最大速度可達500mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，ART130LZ系列平台的定位穩定性和最小步進量可以小於10nm，平面度/直線度可達±1.5μm，主要應用於通訊領域的光纖耦合，、半導體領域的晶圓缺陷檢測，、生物醫療領域的基因測序以及雷射微奈加工等，可以根據客戶的應用提供靈活的客製方案。
ART130LZ系列平台最小步進和定位穩定性測試
5nm最小步進（ASH回饋選項，配置線性放大器）
<3nm定位穩定性（ASH回饋選項，配置線性放大器）
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平台型號 \Model |
ART130LZ-035 |
ART130LZ-060 |
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有效行程\Travel |
35mm |
60mm |
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絕對定位精度 \Accuracy |
±200nm |
±300nm |
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雙向重複定位精度 \Bi-Repeatability |
±100nm |
±100nm |
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單向重複定位精度\Uni-Repeatability |
±25 nm |
±25 nm |
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俯仰\Pitch |
10arc sec |
10arc sec |
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偏擺 \Yaw |
10arc sec |
10arc sec |
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直線度 \Straightness |
±1.5 µm |
±2.0µm |
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平面度\Flatness |
±1.5 µm |
±2.0µm |
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移動部分重量 \Moving Mass |
1.3kg |
1.5kg |
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平台重量\Stage Mass |
4.5kg |
5.5kg |
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最大負載 \Load Capacity(垂直\Vertical) |
10kg |
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解析度 \Resolution1 |
1nm |
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最小步進量 \Minimum Incremental step1 |
5nm |
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定位穩定性\In Position Stability 1 |
3nm |
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最大速度\Maximum Speed2 |
200mm/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration2 |
1g |
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持續推力 \Continuous Force |
24.4 N |
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峰值推力\Peak Force |
170.4 N |
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平台材质\Material |
鋁 |
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平均無故障時間 \MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 適配-ASH回饋，線性放大器；
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的效能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 氣缸供氣需配置氣動三點組，必須清潔、乾燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平台實際負載重量可調。
- 其他行程可定製。
ART130LZ-035
ART130LZ-060
備註：
- 單位：mm；
- 電纜接頭未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程（mm） |
回饋 |
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ART130LZ |
-035 |
-AS -ASH -TTL100 |
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-060 |
行程選項
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-035 |
35 mm 行程 |
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-060 |
60 mm 行程 |
回饋選項
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-AS |
VPP 1 伏正弦模擬量輸入 |
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-ASH |
高精度 VPP 1 伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL010 |
10nm 解析度數位量TTL訊號輸入 |
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-TTL100 |
0.1μm 解析度數位量TTL訊號輸入 |
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