CFT-XY系列
分類： 線性位移平台 > 機械直驅線性位移平台
產品特點
‧ 雙軸四線性馬達驅動，動態性能出色
‧ 交叉滾柱導軌
‧ 結構緊湊，薄型結構，阿貝誤差小
‧ 200mm*200mm和300mm*300mm行程可選
‧ 解析度1nm，重複定位精度±100nm，定位精度±300nm
‧ 定位穩定性3nm（配置ASH回饋選項和線性放大器）
‧ 多種回饋選項
CFT-XY是奈米級定位精度的XY一體式精密定位平台，直線線性馬達直驅控制，採用精密交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率最大可達100Hz以上。CFT-XY系列平台有傑出的工業化設計，外觀設計及幾何尺寸非常合理，同時全行程平面度和直線度小於±1.5μm。其中CFT-200XY系列平台動態性能極佳，以40mm/s的速度做直徑2.2mm的圓形軌跡運動，動態跟隨誤差小於0.5μm，是精密雷射加工和飛拍掃描檢測的首選平台。
CFT-X系列平台結構精緻，有較強的驅動能力，上軸最大速度800mm/s，空載加速度可達1g。採用線性放大器和ASH回饋，實驗室環境做好振動隔離的前提下，CFT-XY系列平台的定位穩定性小於3nm，最小步進量小於5nm，可用於測量檢測、表面粗糙度檢測、雷射切割等需要奈米級定位精度的工業和科研專案。
CFT-XY定位穩定和最小步進測試
5nm最小步進（ASH回饋選項，配置線性放大器）
<3nm定位穩定性（ASH回饋選項，配置線性放大器）
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型號 |
CFT-200XY |
CFT-300XY |
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有效行程\Travel |
200mm*200mm |
300mm*300mm |
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絕對定位精度\Accuracy |
±0.3 μm |
±0.5 μm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.1 μm |
±0.15 μm |
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俯仰\Pitch |
15 arc sec |
18 arc sec |
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偏擺\Yaw |
8 arc sec |
10 arc sec |
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直線度\Straightness |
±1.5 μm |
±2 μm |
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平面度\Flatness |
±1.5 μm |
±2 μm |
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正交性\Orthogonality |
5 arc sec |
5 arc sec |
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最大速度\Maximum Speed1 |
800 mm/s |
800 mm/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration1 |
1.5 g |
1.5 g |
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持續推力\Continuous Force |
48.8 N |
163.6 N |
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峰值推力\Peak Force |
340.8 N |
1013.2 N |
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最大負載\Load Capacity |
20 kg |
30 kg |
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平台重量\Stage Mass(No Motor) |
27.9 kg |
70 kg |
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電子解析度\Resolution2 |
1 nm |
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最小步進量\Minimum Incremental step2 |
5 nm |
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定位穩定性\In Position Stability 2 |
3 nm |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 適配-ASH回饋，線性放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 其他行程可客製。
CFT-200XY
CFT-300XY
備註：
- 單位：mm；
- 電纜管理未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程 |
回饋 |
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CFT |
CFT-200XY |
-AS -TTL005 -TTL020 -TTL100 |
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行程選項
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-200XY |
200mmx200mm行程 |
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-300XY |
300mmx300mm行程 |
回饋選項
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL005 |
5nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL020 |
20nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL100 |
0.1μm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-ASH |
高精度VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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