ASP系列

分類： 旋轉平台 > 氣浮直驅旋轉平台

產品特點

‧ 優化設計，最大限度地減少軸向、徑向和傾斜誤差運動
‧ 具有出色的定位性能、速度穩定性和高解析度回饋
‧ 非接觸式氣浮軸承，有助於超精確運動性能
‧ 最大轉速5000rpm
‧ 亞弧秒級別定位精度
‧ 小於250nm軸向和徑向跳動
‧ 可根據應用需求增加旋轉單元和氣管

產品咨詢

ASP是高精度氣浮直驅轉台，採用旋轉線性馬達直接驅動，具備非常優秀的動態性能和定位精度。除了市場領先的軸向、徑向和傾斜誤差運動性能外，ASP氣浮轉台還提供卓越的旋轉絕對定位精度、重複性和負載能力，很容易整合到多軸運動系統中。

ASP轉台採用傑出的工業化設計，轉動檯面尺寸100和150mm，也可以用戶需求客製其他尺寸的檯面。選用高精度圓光柵位置回饋，定位精度小於±1.5弧秒，軸向和徑向跳動小於250nm，機械性能非常突出。

ASP轉台採用地心科技自主研發的圓形直驅線性馬達，有較強的驅動能力和較大的扭矩，空載轉速超過5000rpm。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，ASP轉台的定位穩定性和最小步進量小於0.5弧秒。主要應用在測量檢測、晶圓螺旋線檢測、生物樣片加工及觀測、同步加速研究、精密製造、光學對準和系統校準等需要弧秒級定位精度的工業領域與科研專案。

平台型號\Model		ASP100	ASP150
載物台直徑\ Stage Diameter		100 mm	150 mm
轉角精度\Accuracy		±1.5 arc sec	±1.5 arc sec
重複性\ Repeatability		±0.75 arc sec	±0.75 arc sec
軸跳\Axial Error Motion		250 nm	250 nm
徑跳\Radial Error Motion		250 nm	250 nm
最小步進量\Minimum Incremental step1		0.5 arcsec	0.5 arcsec
定位穩定性\In Position Stability 1		0.5 arcsec	0.5 arcsec
持續扭矩\Continuous Torque		0.7 N.m	3 N.m
峰值扭矩\Maximum Torque		3 N.m	10 N.m
平台重量\Stage Mass		8 kg	13 kg
最大負載\Max Load	軸向\Axial	6 kg	10 kg
	徑向\Radial	3 kg	5 kg
最高轉速\ Maximum Speed1		5000rpm	5000rpm
耗氣量\Air Consumption		15 SLPM	18 SLPM
供氣需求\ Aire Requirement45		5.3bar±0.2bar，加小於0.25μm空氣篩檢程式
平台材質\Material		鋁
平均無故障時間\MTBF		27,000 Hours

備註：

1. 適配-AS回饋，配置線性放大器；
2. 空載，需配置相應功率的放大器；
3. 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
4. 氣缸供氣需配置氣動三點組，必須清潔、乾燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平台實際負載重量可調。
5. 為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開關，信號輸入到運動控制器連接急停（STO）埠。