ART130系列
分類： 線性位移平台 > 機械直驅線性位移平台
產品特點
‧ 高動態性能（截止頻率大於100Hz）
‧ 交叉滾柱導軌
‧ 靈活的配置選項（不同行程和回饋）
‧ 解析度1nm，重複定位精度±100nm，定位精度±200nm
‧ 定位穩定性3nm（配置線性驅動器，配備隔振實驗室環境）
ART130系列是奈米級定位精度的運動平台，直線線性馬達驅動，採用交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率可達100Hz以上。行程可以根據客戶需求客製，可作為單軸運動平台使用，也可以與ART130V-5升降台或者RSML系列轉台搭配使用，組成不同的多軸配置來滿足客戶應用。
ART130系列平台雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力，最大速度可達500mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，ART130系列平台的定位穩定性3nm和最小步進量可以小於5nm，主要應用於通訊領域的光纖耦合、半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫療領域的基因定序以及雷射微奈加工等。可以根據客戶的應用提供靈活的客製方案。
精巧的結構設計保證了ART130系列平台出色的精度和動態性能，特別是在速度穩定性要求嚴苛的應用中，它的優異性能得到了很好的體現，例如在掃描檢測應用中，要求直線軸等速20mm/s，運動距離130mm，ART130系列平台等速段動態跟隨誤差在±100nm，能出色的完成專案任務。
ART130系列平台最小步進和定位穩定性測試
5nm最小步進（ASH回饋選項，配置線性放大器）
<3nm定位穩定性（ASH回饋選項，配置線性放大器）
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平台型號\Model |
ART130-035 |
ART130-060 |
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有效行程\Travel |
35 mm |
60 mm |
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絕對定位精度\Accuracy |
±200 nm |
±250 nm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±100 nm |
±100 nm |
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單向重複定位精度\Uni-Repeatability |
±45 nm |
±45 nm |
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俯仰\Pitch |
10 arc sec |
10 arc sec |
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偏擺\Yaw |
10 arc sec |
10 arc sec |
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直線度\Straightness |
±1.0 µm |
±1.0 µm |
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平面度\Flatness |
±1.0 µm |
±1.0 µm |
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移動部分重量\Moving Mass |
1.4kg |
1.7kg |
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平台重量\Stage Mass |
2.3 kg |
2.8 kg |
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最大負載\Load Capacity |
水平\Horizontal |
10 kg |
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橫向\Side |
8kg |
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解析度\Resolution1 |
1 nm |
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最小步進量\Minimum Incremental step1 |
5 nm |
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定位穩定性\In Position Stability 1 |
3 nm |
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最大速度\Maximum Speed2 |
500 mm/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration2 |
1 g |
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持續推力\Continuous Force |
24.4 N |
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|
峰值推力\Peak Force |
170.4 N |
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|
平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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平台型號\Model |
ART130-110 |
ART130-160 |
ART130-200 |
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有效行程\Travel |
110 mm |
160 mm |
200 mm |
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絕對定位精度\Accuracy |
±300 nm |
±300 nm |
±350 nm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±100 nm |
±100 nm |
±150 nm |
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單向重複定位精度\Uni-Repeatability |
±45 nm |
±45 nm |
±45 nm |
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俯仰\Pitch |
10 arc sec |
12 arc sec |
15 arc sec |
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偏擺\Yaw |
10 arc sec |
12 arc sec |
15 arc sec |
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直線度\Straightness |
±1.0 µm |
±2 µm |
±2.5 µm |
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平面度\Flatness |
±1.0 µm |
±2 µm |
±2.5 µm |
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移動部分重量\Moving Mass |
2.2kg |
2.7kg |
3.2kg |
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平台重量\Stage Mass |
3.6 kg |
4.3 kg |
5.1 kg |
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|
最大負載\Load Capacity |
水平\Horizontal |
10 kg |
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|
橫向\Side |
8kg |
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|
解析度\Resolution1 |
1 nm |
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|
最小步進量\Minimum Incremental step1 |
5 nm |
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|
定位穩定性\In Position Stability 1 |
3 nm |
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|
最大速度\Maximum Speed2 |
500 mm/s |
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|
最大加速度\Maximum Acceleration2 |
1 g |
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|
持續推力\Continuous Force |
24.4 N |
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|
峰值推力\Peak Force |
170.4 N |
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|
平台材質\Material |
鋁 |
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|
平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 適配-ASH回饋，線性放大器；
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 其他行程可客製。
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型號 BASIC MODEL |
標稱行程 NOMINAL TRAVEL |
A |
B |
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ART130-35 |
35 |
155 |
125 |
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ART130-60 |
60 |
180 |
150 |
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ART130-110 |
110 |
230 |
200 |
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ART130-160 |
160 |
280 |
250 |
|
ART130-200 |
200 |
320 |
175,275 |
備註：
- 單位：mm；
- 電纜接頭未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程（mm） |
回饋 |
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ART130 |
-035 |
-AS -ASH -TTL005 -TTL020 |
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-060 |
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|
-110 |
||
|
-160 |
||
|
-200 |
行程選項
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-35 |
35 mm 行程 |
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-60 |
60 mm 行程 |
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-110 |
110 mm 行程 |
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-160 |
160 mm 行程 |
|
-200 |
200 mm 行程 |
回饋選項
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-ASH |
高精度VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL005 |
5nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL020 |
20nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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