ASML系列

分類： 旋轉平台 > 氣浮直驅旋轉平台

產品特點

‧ 無槽，無刷伺服直驅線性馬達驅動
‧ 優化設計，最大限度地減少軸向、徑向和傾斜誤差運動，
‧ 具有出色的定位性能、速度穩定性和高解析度回饋
‧ 非接觸式氣浮軸承，有助於超精確運動性能
‧ 低高度扁平化設計
‧ 亞弧秒級別定位精度
‧ 小於200nm軸向跳動

產品咨詢

ASML是高精度氣浮直驅轉台，採用旋轉線性馬達直接驅動，具備非常優秀的動態性能和定位精度。除了市場領先的軸向、徑向和傾斜誤差運動性能外，ASML氣浮轉台還提供卓越的旋轉絕對定位精度和、重複性，和負載能力，很容易整合到多軸運動系統中。

ASML轉台採用傑出的工業化設計，轉動檯面尺寸從150mm到300mm不等，厚度輕薄的設計下仍能保證高性能，選用高精度圓光柵位置回饋，定位精度小於1弧秒，軸向和徑向跳動小於200nm。ASML轉台採用地心科技自主研發的圓形直驅線性馬達，尺寸靈活設計。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，ASML轉台的定位穩定性和最小步進量小於0.5弧秒。主要應用在測量檢測、生物樣片加工及觀測、同步加速研究、精密製造、光學對準和系統校準等需要弧秒級定位精度的工業領域與科研專案。

平台型號\Model		ASML150	ASML200	ASML250	ASML300
載物台直徑\ Tabletop Diameter		150 mm	200mm	250mm	300mm
高度\Stage Height		75mm	80mm	95mm	107mm
中空尺寸\Aperture		50mm	65mm	70mm	75mm
轉角精度\Accuracy		±3 arc sec	±2 arc sec
重複性\ Repeatability		±1 arc sec	±0.5 arc sec
軸跳\Axial Error Motion		300 nm	200nm
端跳\Radial Error Motion		400 nm	300nm
最小步進量\Minimum Incremental step1		0.5 arcsec
定位穩定性\In Position Stability 1		0.5 arcsec
持續扭矩\Maximum Torque		3.7 N.m	10 N.m	20 N.m	35 N.m
峰值扭矩\Maximum Torque		14.6 N.m	30 N.m	40 N.m	70 N.m
最大負載\Max Load	軸向\Axial	50 kg	100 kg	150 kg	200 kg
	徑向\Radial	25 kg	50 kg	75 kg	100 kg
最高轉速\ Maximum Speed2		600rpm		800rpm
轉台重量\ Stage Mass		5.0 kg	9.8 kg	16.2 kg	25.0 kg
供氣需求\ Aire Requirement45		80psi±5psi，加小於0.25um空氣篩檢程式
平台材質\Material		鋁
平均無故障時間\MTBF		27,000 Hours

備註：

1. 適配-AS回饋，配置線性放大器；
2. 空載，需配置相應功率的放大器；
3. 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
4. 氣缸供氣需配置氣動三點組，必須清潔、乾燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平台實際負載重量可調。
5. 為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開關，信號輸入到運動控制器連接急停（E-STOP）埠。