ART130SZ系列
分類： 線性位移平台 > 機械直驅線性位移平台
產品特點
‧ 雙氣缸配重，高動態效能（截止頻率大於100Hz）
‧ 交叉滾柱導軌
‧ 靈活的配置選項（可客製不同行程）
‧ 解析度1nm，重複定位精度±100nm，定位精度±250nm
‧ 定位穩定性3nm（配置線性驅動器，配備隔振實驗室環境）
ART130SZ系列是奈米級定位精度的垂直運動平台，直線線性馬達驅動，採用交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態效能和定位精度，空載截止頻率可達100Hz以上。
ART130SZ系列平台採用超薄設計，能有效節省安裝空間，是ART130系列水平運動奈米運動臺的有效補充，雙氣缸平衡設計，通過氣缸平衡負載重量，能有效避免線性馬達長時間工作發熱現象，是高剛性和高可靠性的Z向奈米運動平台的首選。
ART130SZ系列平台雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力，最大速度可達500mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，ART130SZ系列平台的定位穩定性3nm和最小步進量可以小於5nm，主要應用於通訊領域的光纖耦合，、半導體領域的wafer 晶圓缺陷檢測，、生物醫療領域的基因測序以及雷射微奈加工等，可以根據客戶的應用提供靈活的客製方案。
ART130SZ系列平台最小步進和定位穩定性測試
5nm最小步進（ASH回饋選項，配置線性放大器）
<3nm定位穩定性（ASH回饋選項，配置線性放大器）
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平台型号\Model |
ART130SZ-035 |
ART130SZ-060 |
ART130SZ-110 |
ART130SZ-160 |
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有效行程\Travel |
35mm |
60mm |
110 mm |
160 mm |
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定位精度\Accuracy |
±250nm |
±250nm |
±300 nm |
±300 nm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±100 nm |
±100 nm |
±150 nm |
±150 nm |
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單向重複定位精度\Uni-Repeatability |
±45 nm |
±45 nm |
±45 nm |
±45 nm |
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俯仰\Pitch |
10 arc sec |
10 arc sec |
12arc sec |
12 arc sec |
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偏擺 \Yaw |
10 arc sec |
10 arc sec |
10 arc sec |
10 arc sec |
|
直線度 \Straightness |
±2.0 µm |
±2.0 µm |
±2.0 µm |
±2.5 µm |
|
平面度\Flatness |
±2.0 µm |
±2.0 µm |
±2.0 µm |
±2.5 µm |
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移動部分重量 \Moving Mass |
1.4kg |
1.6kg |
2.2kg |
2.6kg |
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平台重量\Stage Mass |
2.7 kg |
3.1 kg |
4.2 kg |
4.9 kg |
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最大負載\Load Capacity(豎直\Vertical) |
12 kg |
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解析度\Resolution1 |
1nm |
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最小步進量 \Minimum Incremental step1 |
5nm |
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定位穩定性 \In Position Stability 1 |
3nm |
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最大速度\Maximum Speed2 |
500 mm/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration 2 |
1 g |
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持續推力 \Continuous Force |
24.4 N |
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峰值推力\Peak Force |
170.4 N |
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平台材质\Material |
鋁 |
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平均無故障時間 \MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 適配-ASH回饋，線性放大器；
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的效能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 氣缸供氣需配置氣動三點組，必須清潔、乾燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平台實際負載重量可調。
- 其他行程可客製。
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型號 BASIC MODEL |
標稱行程 NOMINAL TRAVEL |
A1 |
A2 |
B |
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ART130-035-SZ |
35 |
155 |
204 |
150 |
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ART130-060-SZ |
60 |
180 |
236 |
150 |
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ART130-110-SZ |
110 |
230 |
340 |
100,200 |
|
ART130-160-SZ |
160 |
280 |
405 |
100,200 |
ART130SZ-060/ART130SZ-110
ART130SZ-035
ART130SZ-160
備註：
- 1單位：mm；
- 2電纜接頭未顯示；
- 3完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程（mm） |
回饋 |
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ART130SZ |
-035 |
-AS -ASH -TTL100 |
|
-060 |
||
|
-110 |
||
|
-160 |
行程選項
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-035 |
35 mm 行程 |
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-060 |
60 mm 行程 |
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-110 |
110 mm 行程 |
|
-160 |
160 mm 行程 |
回饋選項
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-ASH |
高精度 VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL010 |
10nm 解析度數位量TTL訊號輸入 |
|
-TTL100 |
0.1μm 解析度數位量TTL訊號輸入 |
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