ART165V-5系列
分類： 升降平台
產品特點
‧ 高動態性能（空載截止頻率大於150Hz）
‧ 交叉滾珠導軌
‧ 無需氣缸配重
‧ 豐富的組合選項（SMH165系列XZ，XYZ）
‧ 解析度1nm，重複定位精度±100nm，定位精度±200nm
‧ 定位穩定性5nm（配置線性驅動器，配備隔振實驗室環境）
ART165V-5是奈米級定位精度升降平台，直線線性馬達驅動，交叉滾珠導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率可達150Hz以上。
ART165V-5系列升降台是ART系列水平運動平台的有效補充，相比ART130V-5檯面寬度有所增加，承載能力更大，可以與SMH165LM/SMH165SD直線平台組成不同的多軸配置來滿足客戶應用。在一些需要快速聚焦的應用中，ART165V-5 的出色動態性能使其足以滿足嚴苛的技術要求，例如，在基因定序應用中ART165V-5安裝1.7kg負載步進1μm，步進穩定到±50nm誤差範圍，能在15ms時間內完成包括加減速和穩定在內的所有動作，能快速準確的完成即時聚焦動作。
ART165V-5系列升降台結構緊湊小巧，但是有較強的驅動能力，最大速度可達75mm/s，空載加速度可達0.7g。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，ART165V-5系列升降台的定位穩定性和最小步進量可以小於5nm，主要應用於通訊領域的光纖耦合、半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫療領域的基因定序等，可以根據客戶的應用場景提供靈活的客製方案。
ART165V-5系列升降台最小步進測試
5nm 步進（配置線性放大器）
0.1mm 步進，50ms穩定到±50nm
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平台型號\Model |
ART165-5V |
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有效行程\Travel |
5 mm |
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定位精度\Accuracy |
±200 nm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±100 nm |
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單向重複定位精度\Uni-Repeatability |
±45 nm |
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俯仰\Pitch |
20 arc sec |
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偏擺\Yaw |
10 arc sec |
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直線度\Straightness1 |
±1.0 µm |
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平台重量\Stage Mass |
5 kg |
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最大負載\Load Capacity2 |
5 kg |
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解析度\Resolution |
1 nm |
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最小步進量\Minimum Incremental step3 |
5nm |
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定位穩定性\In Position Stability 3 |
5nm |
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最大速度\Maximum Speed4 |
75 mm/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration4 |
0.7 g |
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持續推力\Continuous Force |
23 N |
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峰值推力\Peak Force |
170 N |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
備註：
- 平行或垂直於楔形塊方向測量；
- 沿軸線方向受力；
- 適配-AS回饋，配置線性放大器；
- 空載測試；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關。
備註：
- 單位：mm；
- 電纜接頭未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程（mm） |
回饋 |
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ART165V |
-5 |
-AS |
行程選項
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-5 |
5mm行程 |
回饋選項
|
-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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