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ACT85LM系列

分類: 線性位移平台 > 機械直驅線性位移平台

產品特點

‧ 直驅線性馬達高精度定位平台
‧ 高性能低成本解決方案
‧ 堅固的機械結構
‧ 靈活的配置選項
‧ 行程範圍50mm到600mm
‧ 最大速度可達2000mm/s,最大加速度可達2g
‧ 可選單側或雙側電纜管理
產品咨詢

ACT85LM系列運動平台採用直線線性馬達驅動,直驅線性馬達速度快、動態性能好、摩擦力小,易於實現精密位置控制,非常適合大行程,高速度和高精度應用。 

ACT85LM系列運動平台使用高解析度光柵,電子解析度可達1nm,通過校準可使平台最低達至亞微米級重複性和定位精度。而低摩擦側密封系統保護其免受灰塵或顆粒污染,保證其長時間正常運行,延長維護週期。 ACT85LM為客戶提供電纜管理系統選項、低摩擦側密封、金屬硬殼上蓋的設計讓平台在性能卓越的前提下更簡練而具美感,使日常維護簡單易行,省時省力。 

ACT85LM系列高性能機械式直線導軌運動平台是精密機械中的關鍵部件之一,它主要應用於OLED切割、PCB鑽孔,數控加工、生物技術、IC封裝設備、表面形貌測量等領域。為客戶提供一個能夠實現精密定位,高速度和大負載的精密運動平台。

ACT85LM系列平臺最小步進和動態性能測試



 100 nm最小步進(實驗室環境)

此圖型為150mmX75mm毫米的操場型圖形,其中4個拐角半徑大約4.5mm


1.2秒完成加工,動態跟隨誤差小於12μm

 

平台參數

平台型號\Model

ACT85-550

有效行程\Travel

550mm

定位精度\Accuracy

±2 μm

重複定位精度\Bi-Repeatability

±1 μm

平台重量\Stage Mass

25.2 kg

最大負載\Load Capacity

水平安裝

20kg

橫向安裝

10kg

解析度\Resolution

1nm

最小步進\Minimal Incremental Step

200nm

最大速度\Maximum Speed

 2m/s

最大加速度\Maximum Acceleration

2g

持續推力\Continuous Force

31N

峰值推力\Peak Force

217N

平台材質\Material

平均無故障時間\MTBF

27,000 Hours

 

平台型號\Model

ACT85LM-300

ACT85LM-400

ACT85LM-500

ACT85LM-600

有效行程\Travel

300mm

400mm

500mm

600mm

定位精度\Accuracy

±2 μm

±2 μm

±3 μm

±3 μm

重複定位精度\Bi-Repeatability

±1 μm

±1 μm

±1 μm

±1 μm

平台重量\Stage Mass

8 kg

9 kg

10.4 kg

11.5 kg

最大負載\Load Capacity

水平安裝

40kg

垂直安裝

40kg

解析度\Resolution

1nm

最小步進\Minimal Incremental Step

75nm

最大速度\Maximum Speed

 2m/s

最大加速度\Maximum Acceleration

2g

最大推力\Maximum Force

31N

持續推力\Continuous Force

217N

峰值推力\Peak Force

平均無故障時間\MTBF

27,000 Hours

 

回饋選項

-AS

VPP 1伏正弦模擬量輸入

-TTL010

0.1um解析度AQuaqB信號輸入

 

電纜管理選項

-CMS0

無電纜管理,僅留出線性馬達回饋介面

-CMS1

單側托線板、單拖鏈

-CMS2

雙側托線板、雙拖鏈

 

BASIC MODEL

NOMINAL TRAVEL

A

B

ACT85LM-50

50

290mm

75,150,225

ACT85LM-100

100

390mm

75,150,225,300

ACT85LM-150

150

440mm

100,200,300,400

ACT85LM-200

200

490mm

100,200,300,400

ACT85LM-300

300

590mm

100,200,300,400,500

ACT85LM-400

400

690mm

100,200,300,400,500,600

ACT85LM-500

500

790mm

100,200,300,400,500,600,700

ACT85LM-600

600

890mm

100,200,300,400,500,600,700,800

 


產品配置選項

產品系列

行程(mm

載物台

回饋

電纜管理

ACT85LM

-50

-TTM
-TTR
-TTKxx

-AS
-TTL01

-CMS0
-CMS1
-CMS2

-100

-150

-200

-300

-400

-500

-600


行程選項

-50

50mm行程

-100

100mm行程

-150

150mm行程

-200

200mm行程

-300

300mm行程

-400

400mm行程

-500

500mm行程

-600

600mm行程

 

載物台選項

-TTM

載物台公制安裝孔

-TTR

載物台安裝孔位,為指定旋轉台設計

-TTKxx

為客戶客製載物台